无尘洁净车间为什么要操控温湿度?主要作用是什么,具体有什么措施?

　　无尘洁净车间的温湿度主要是根据您的加工工艺要求来确认，在满意加工工艺的条件下，首 选应该考虑人的舒适感。跟着空气洁净度要求的提高，工艺对温湿度的要求也越来越高，有必要到达必定的温湿度等级。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性胀大，所以有必要有±0.1度的恒温，一起要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超越25度。　湿度过高产生的问题更多。相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精细装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

　　然而关于大部分洁净空间，为了避免外界污染侵入，需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的保持一般应契合以下原则：

　　1.洁净度等级高的空间的压力要高于相邻的洁净度等级低的空间的压力。

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　　2.相通洁净室之间的门要开向洁净度等级高的房间。无尘洁净车间

　　3洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

　　无尘洁净车间压力差的保持依靠新风量，这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理含义便是漏泄(或渗透)风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。

　　关于乱流洁净室 由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度，所以主要用换气次数这一概念，而不直接用速度的概念，不过对室内气流速度也有如下要求;

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　　1.送风口出口气流速度不宜太大，和单纯空调房间相比，要求速度衰减更快，扩散角度更大。

　　2.吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大，以免吹起外表微粒重返气流，而造成再污染，这一速度一般不宜大干0.2m/s。

　　在我国，《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规则的

　　笔直平行流(层流)洁净室≥0.25m/s

　　水平平行流(层流)洁净室≥0.35 m/s