无尘车间中的冷却水系统的组成及主要构件都有哪些?

 行业动态     |      2024-02-04 09:51:34

  无尘车间,别称“净化车间”、“洁净车间”,就是指把必须范围之内气体中的空气污染物清除,并把温度湿度、气旋度、房间内工作压力、噪声震动操纵在特殊范围之内的非常设计构思的屋子。在电子器件和食品企业等应用普遍。今天小编在这给大家说说无尘车间中的冷却水系统的组成及主要构件。

  一、冷却水系统的组成

  冷却水系统中通常包含储水箱、循环泵、精密过滤器、板式热交换器、生产线设备自来水点、离心水泵直流变频电气控制系统、温度感应器、压差传感器、液位传感器、RO补水保湿设备、背压阀、调压阀、阀及不锈钢钢管等。

  二、系统的关键构件

  1)水泵

  水泵须考虑应用总流量和水泵扬程的规定,且重量轻、很轻、工程造价低,有优良的特点和较高的高效率,通常才有离心泵,且互相预留;优良的抗气蚀特性,即能确保离心水泵运作稳定、长寿命,又能减少运作花费,工程项目项目投资少;离心水泵的本身选用金属材质,能够非常好防止对水体将会导致的环境污染。

  在安裝时降低進口侧耳弯管,阀使进水口顺畅,拉高漏水工作压力,确保自来水管气密性可合理降低汽蚀的产生;采用必不可少汽蚀余量小的泵浦。

  2)热交换器

  换热器按其方式可主抓壳式,平板式,板翅式,热列管式等,相相对而言,板式热交换器具备占地小,热传导总面积大的优势。

  凉水下入上有,PCW勤奋下进,使凉水尽可能带去发热量,充足开展热交换器,并根据调整凉水电动调节阀,确保PCW出水量溫度平稳。

  3)RO补水设备

  补水保湿设备通常由补水保湿管道,储水箱液位变送器、电动调节阀组以及旁通阀管道构成,储水箱水位线过低时,液位变送器传出补水保湿数据信号,电动调节阀打开,RO水进到储水箱,水位线超过预订部位时,液位变送器发信号,电动调节阀关掉,补水保湿完毕。

  4)过滤装置

  过滤器或过滤系统的挑选,除要考虑到事件管道将会对水体的危害,也要兼具考虑到不一样工艺技术水体规定的差别。因而,通常挑选为二级过滤装置,前端开发过滤装置通常采用5μm,99%过虑规定的不锈钢过滤器,尾端过滤装置挑选依据尾端工艺技术的水体规定明确。机壳原材料为不锈钢加工,过滤芯材料为聚丙稀过滤芯。

  5)背压阀

  保持在闸阀前产生必须的工作压力,工作压力通常能够调整。液體进到闸阀后被脉冲阻尼器阻拦,因此液體对脉冲阻尼器造成往上的工作压力。当工作压力充足大时,弹黄被缩小,流体力学顶起膜片形成安全通道,从闸阀出入口排出;若流体力学工作压力不足,就会产生憋压,来确保管道工作压力保持在额定值工作压力下。压安裝各路支管道智能回水侧,以确保此支管道进机器设备的工作压力。

  6)机器设备对接

  机器设备机器设备相接处安裝出入水闸阀、气压表、控制机、进气阀、调压阀、专用型插口;

  三、冷却水的自动控制系统

  PCW在半导体厂是个十分关键的系统软件,出现异常会危害生产车间内的绝大多数的生产线设备而造成重大损失,系统自动化技术水平高,对操纵规定较高,包括温度、工作压力、水体及其离心水泵的操纵。

  1)供水温度的操纵

  依据工艺技术对供电溫度的要求,对系统供电溫度规定操纵在20℃(依据实际设置),供电溫度根据安裝在供水管道道边温度感应器收集,传送到PLC与运算模块,操纵冷藏水侧电动调节阀打开度调整冷藏水侧总流量,进而控制器换制冷量互换,使冷却循环水超过20℃的设计构思总体目标规定;为保证系统软件溫度温度,设定双摄像头,且2个溫度值都设定警报值,能够转换操纵电动调节阀,一起电动调节阀开启度也设定警报值。

  2)供水压力操纵

  系统软件再次泵选用交流电机调速操纵,即根据供电工作压力调整软启动器頻率,从而调整供电工作压力;一起液位传感器操纵离心水泵出入口端智能回水电动调节阀的开闭,当工作压力超过预设值(如0.5MPa)时,电动调节阀开启,以避免系统软件工作压力过高,对事件管道特别是在是工艺技术造成危害。

  3)变频泵的操纵

  保证无塔供水设备、泵也有储备机器设备的工作中延续性,即连续运行;

  a.通常用UPS供电系统;

  b.当运作泵常见故障或供电工作压力钟头全自动起动预留泵;

  c.变频恒压供水;

  d.对预留泵的起动根据供电工作压力来操纵,当供电工作压力小于必须值时起动预留泵。当运作泵出现异常终止时,预留泵直流起动;

  e.压力设定双探头,且2个压力值都设定警报值,能够互作转换操纵变频器。