「洁净室」是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电操控在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不管外在之空气条件怎么改变，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

　　无尘洁净车间洁净室最主要之作用在于操控产品(如硅芯片等)所触摸之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个杰出之环境空间中生产、制作，此空间咱们称之为「洁净室」。

　　洁净室控管：?能防止微尘粒子之产生;温度和湿度之操控;有害气体之扫除;防制静电。

　　洁净室之分类无尘洁净车间

　　1.乱流式：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。

　　2.层流式：水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重;笔直层流式：房间天花板彻底以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所

　　3.复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供部分超洁净之空气。