多年来专注于净化工程行业,对于半导体类电子硬件行业厂房净化要求及建设方案有深入的研究分析,下面我们来全面解析镇江硬件制造业厂房净化之半导体车间净化工程施工方案。
一、项目背景及设计要求
半导体无尘车间是某产业集团开发的筑巢引凤项目。项目简介仅规定了建筑规模和生产的产品类型。在设计和施工过程中没有具体的工艺配合。从某种意义上说,它是一个通用电子厂房的设计。
半导体生产厂房是工业建筑中的洁净建筑。与其他工业建筑相比,其设计难度更大。在没有具体工艺配合的情况下,对建筑设计师来说更是一个挑战。这就需要架构师深入研究电子产品生产过程的特点和各种技术要求,了解目前国内外同类生产厂的普遍做法和发展趋势,从中找出原理性的技术特征来指导我们的架构.设计等相关专业设计。
2 电子洁净厂房的技术特点
(1)电子生产车间因生产产品对空间环境有特殊的洁净度要求,建筑规划剖面空间及技术措施应首先保证生产空间的洁净度。空间内人流、物流、设备流应净化无尘。
(2)半导体生产过程中的工艺流程一般不是单向的,通常会有多次交叉。像芯片生产过程中的光刻、腐蚀、扩散、蒸镀、表面净化等,工艺流程往复交叉频繁。在设计方面,要求空间的洁净度满足各工序的生产要求。因此,国外先进的生产厂整个洁净生产区的洁净度等级都是按照100级设计的,个别10级区域是通过设备的方式来解决的。
(3)电子产品更新换代快,其生产工艺和设备也在不断更新,要求建筑空间具有一定的灵活性和可变性,以适应工艺和产品的不断更新换代。
(4)半导体生产虽然是流水线作业,但由于运输量小,对工艺环节要求不是很严格,在建筑空间布局上可以相对自由。
3 建设对策
根据上述半导体生产厂的技术特点,由于其生产工艺由于具有灵活性的特点,不需要特定的技术配合就可以推进架构设计。
建筑设计考虑场地和建筑规模因素,确定建筑为四层,其中一层、二层为洁净生产空间及其辅助空间;三楼和四楼用于包装、研发和管理。洁净生产区平面为44m×13.5m的简单长方形,四周环绕着2.1m的洁净走廊。洁净生产区洁净等级全部确定为100级,洁净走廊为10000级。这种空间布局是为了拓宽对不同生产过程的要求。适应和发展的灵活性。
断面空间设计采用净高3m的预制洁净室,顶部为技术夹层,采用上送侧回净化气流组织,建筑层高6m .
百级洁净生产车间人员、物流的净化,是洁净室能否达到洁净要求,能否生产出产品的关键。 .
百级洁净室的洁净要求为:入口——换鞋——更衣——沐浴——洁净走廊——二次沐浴——更衣洁净——风淋室——洁净生产区。
100级洁净室要求:入口-原材料入库-粗洗-出货窗-精洗-出货窗-洁净生产区-出货窗-包装-成品入库。
对于整个厂房,还存在人员不洁、物流、消防疏散等问题,必须协调解决。一个简单的解决方案是将洁净部分和非洁净部分分别设置出入口,但在有限的建筑空间内设置四个出入口显然不经济,也不利于管理和两者之间的必要衔接领域。详细分析了人员和物流流程以及厂房各部分之间的关系,建筑平面采用直线布局,中间为生产区,两端各设一个大厅。东大堂为人流入口,西大堂主要为货物进出。同时,考虑到人员的紧急疏散出口,每个走廊都安装了一套梯子,干净和不干净的人通过梯子,物流是分开的。
为节省空间和设备管线,一楼建有空气净化机房和超纯水处理站,洁净空气和纯水通过工艺管线夹层送至洁净生产区.
为避免设备运行时因振动产生粉尘,设备间与主厂房结构采用接缝分隔,这是洁净建筑设计所必需的。洁净厂房的其他共性技术问题和细部结构按照我国《洁净厂房设计规范》进行设计。
4。结论
目前,厂房已经投入使用,科技并未对建筑产生任何改变。本次项目的建筑设计给了我们两点启示:第一,每一次建筑设计都是一个深入学习和研究的过程。了解建筑的特殊要求和建筑要解决的主要问题,这是建筑师必须做的。 其次,工业建筑设计建筑师应该满足技术的要求,但不能完全被动地依赖技术。他们在设计中应充分发挥自身的技术和艺术智慧,充分考虑人文和空间因素,让工业建筑能够更多地留下建筑设计的痕迹。