无尘车间操作须知

　　1.处理芯片时，无尘车间工程有必要戴上无纤维手套，运用清洗过的洁净镊子挟制芯片，请勿以手指或其它任何东西触摸芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得持续运用：

　　(1)任何一支镊子前端(即挟制芯片端)如被碰触过，或是镊子坠落地上，有必要拿去清洗请勿用纸巾或布擦洗脏镊子。

　　(2)芯片清洗后进行下一程序前，若被手指碰触过，有必要从头清洗洁净室工程。

　　(3)把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染，有必要将芯片从头清洗，并当即替换洁净的镊子运用。

　　2.芯片有必要放置盒中，盖起来存放于规定方位，尽可能不让它暴露。

　　3.避免在芯片上说话，以避免唾液溅于芯片上，在芯片进分散炉前，请特别留意，避免上述动作发生，若芯片上沾有纤维屑时，用氮气枪喷之。

　　4.从铁弗龙(Teflon)晶舟，石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上，取出芯片时，有必要垂直向上挟起，避免刮伤芯片，显微镜镜头确已离芯片，方可从吸座上移走芯片。

　　5.芯片上，若已长上氧化层，在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。

　　6.操作时，不管是否戴上手套，手绝不能放进清洗水槽。

　　7.运用化学站或烤箱处理芯片时，务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内，不行运用塑料盒。

　　8.摆置芯片于石英舟时，若芯片坠落地上或手中则有必要从头清洗芯片，然后再进氧化炉。

　　9.请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，有必要重作清洗。

　　10. 手套，废纸及其它杂碎东西，请勿留置于操作台，手套若烧焦、磨破或纤维质变多有必要换新。

　　11.非经指示，绝不行敞开不熟悉的仪器及各种开关阀控制钮或把手。

　　12.古怪的滋味或反响异常的溶液，色彩，动静等请即告诉相关人员。

　　13.仪器因操作过错而有任何损坏时，务必立刻奉告担任人员或教师。

　　14.芯片盒进出无尘室须保持洁净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。

　　15.无尘室内一概运用原子笔及无尘笔记本做记载，一般纸张与铅笔不得携入。

　　二、黄光区操作须知

　　1.湿度及温度会影响对准工作，在黄光区应留意温度及湿度，并应削减对准机附近的人，以削减湿、温度的变化。

　　2.上妥光阻尚未曝光完成之芯片，不得携出黄光区避免感光。

　　3.己上妥光阻，而在等待对准曝光之芯片，应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内， 盒盖有必要盖妥。

　　4.光罩运用时应持取边际，不得触及光罩面，任何情况之下，光罩铬膜不得与他物触摸，以防刮伤，光罩之落尘能够氮气枪吹之。

　　5.曝光时，应避免用眼睛直视曝光机汞灯。

　　三、镊子运用须知

　　1.进入实验室后，应先戴上手套后，再取镊子，避免沾污。

　　2.唯有运用洁净的镊子，才可持取芯片，镊子一旦掉在地上或被手触碰，或因其它原因而遭污染，有必要拿去清洗，方可再运用。

　　3.镊子运用后，应放于各站规定处，不行任意放置，如有特殊制程用镊子，运用后应自行保管，不行和实验室内各站之镊子混合运用。

　　4.持镊子应采"握笔式"姿态挟取芯片。

　　5.挟取芯片时，顺序应由后向前挟取，放回芯片时，则由前向后放回，避免刮伤芯片表面。

　　6.挟取芯片时，"短边" (锯状头)置于芯片正面，"长边" (平头)置于芯片背面，挟芯片空白部分，不行伤及芯片。

　　7.禁止将镊子触摸酸槽或D.I Water水槽中。

　　8.镊子仅可做为挟取芯片用，禁绝做其它用处。